La precisión geométrica del riel guía lineal incluye la rectitud del riel guía entre la superficie vertical y la superficie horizontal. Los principales factores que afectan la precisión del riel de guía lineal se resumen a continuación.

1. Rectitud del riel de guía lineal
Afecta directamente el paralelismo de la superficie del riel guía y la verticalidad entre los rieles guía.
2. Rigidez del riel de guía lineal
La deformación por contacto, la deformación local y la autodeformación ocurrirán cuando el riel guía esté bajo tensión. La deformación de contacto es causada por la falta de homogeneidad microscópica del plano del riel de guía. La deformación local generalmente ocurre donde se concentra la tensión. La deformación del riel guía en sí es la deformación general del riel guía bajo carga externa, que está relacionada con el material y el diseño del riel guía.
3. Rugosidad de la superficie del riel de guía lineal
Depende principalmente del material, la dureza y el proceso de pulido del riel guía.
4. Tipo de estructura de guía lineal
Afecta directamente la precisión de posicionamiento y el índice de precisión de las máquinas herramienta.
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